[发明专利]一种加速度计摆片平桥的蚀刻方法

摘要

本发明提供一种加速度计摆片平桥的蚀刻方法，通过蚀刻窗口参考面、同时蚀刻平桥和窗口等步骤实现对加速度计摆片平桥的精确刻蚀。本发明提供的方法只需对窗口参考面的初始深度进行测量即可精确控制平桥厚度，蚀刻加工的平桥厚度精度可达±1μm，提高了加速度计摆片的加工精度，蚀刻得到的平桥厚度，不受原材料、腐蚀液及蚀刻速率的影响。

主权项

一种加速度计摆片平桥的蚀刻方法，其特征在于通过以下步骤实现：第一步，配制腐蚀液；第二步，估算蚀刻速率；第三步，蚀刻窗口参考面；利用第一步配制的腐蚀液在摆片坯料的双面同一位置上蚀刻三个窗口图形，窗口图形蚀刻深度为摆片平桥设计厚度d的一半，即d/2；第四步，同时蚀刻平桥和窗口，利用第一步配制的腐蚀液对三个窗口和平桥部位一同进行蚀刻，蚀刻时对三个窗口部位进行观察，当三个窗口部位被蚀刻穿后，即三个窗口部位形成通孔后停止蚀刻，此时即形成两个独立的平桥结构，平桥的厚度为d；第五步，激光修边。