[发明专利]有机EL器件制造装置

摘要

本发明提供不必在真空处理室内设置用于基板保持的促动器而能够可靠地保持基板的有机EL器件制造装置。该有机EL器件制造装置具备基板支架、基板支承销、使基板支架升降的基板支架升降机构、由基板夹具、夹具支撑金属件、夹具加力螺旋弹簧构成的基板保持机构、以及夹具开闭销，夹具支撑金属件在纵向上旋转具有第一臂与第二臂，基板夹具的一端固定在第一臂的端部，在第二臂的端部设有在纵向上旋转的旋转部，在基板支承销接受基板的状态下，第二臂的旋转部被夹具开闭销推压而使连接第一臂与第二臂的直线为大致水平的状态，在将接受了的基板载置在基板支架上的状态下，连接第一臂与第二臂的直线为大致垂直的状态且基板夹具将基板推压到基板支架上。

主权项

一种有机EL器件制造装置。具备：设在真空处理室内并用于载置基板的基板支架；用于从设在上述真空处理室外的基板搬运机接受基板的、在上述真空处理室内沿垂直方向竖立设置并固定的基板支承销；使上述基板支架相对于上述基板支承销升降的基板支架升降机构；设在上述基板支架的端部，并用于将基板保持在上述基板支架上的基板保持机构；以及用于从上述基板保持机构释放基板的、在上述真空处理室内沿垂直方向竖立设置并固定的夹具开闭销，该有机EL器件制造装置的特征在于，上述基板保持机构具有将基板推压到上述基板支架上的板状的基板夹具、支撑上述基板夹具的夹具支撑金属件、以上述基板夹具将基板推压到上述基板支架上的方式加力的弹簧，上述夹具支撑金属件能以水平方向的第一轴为中心进行旋转动作，具有从上述第一轴延伸的第一臂与第二臂，上述基板夹具的一端固定在上述第一臂的端部，在上述第二臂的端部设有能以水平方向的第二轴为中心进行旋转动作的旋转部，连接上述第一轴与上述两个臂的端部的直线是形成三角形的形状，在上述基板支承销从设在上述真空处理室外的基板搬运机接受基板的状态下，利用上述夹具开闭销推起上述第二臂的旋转部，连接上述第一臂与第二臂的直线为大致水平的状态且上述基板夹具为大致垂直的状态，在将上述接受了的基板载置在上述基板支架上的状态下，连接上述第一臂与第二臂的直线为大致垂直的状态且上述基板夹具为大致水平的状态，为上述基板夹具将基板推压到上述基板支架上的状态。