[发明专利]一种在钙钠玻璃表面形成耐久性双层减反射薄膜的方法无效
| 申请号： | 201210416610.0 | 申请日： | 2012-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN102910835A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 李佳;鲁越晖;兰品军;张贤鹏;宋伟杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 | 代理人： | 程晓明 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种在钙钠玻璃表面形成耐久性双层减反射薄膜的方法，包括以下步骤：1）在反应腔中通入金属氧化物的前驱体和水蒸气发生反应得到反应产物，采用原子层沉积法将反应产物同时沉积在钙钠玻璃基底的两个表面得到高折射率氧化物薄膜；2）以硅源、溶剂及催化剂为原料，配制硅溶胶；3）采用涂覆技术将步骤2）中配制得到的硅溶胶涂覆于步骤1）中得到的钙钠玻璃基底的表面，从而在高折射率氧化物薄膜上再形成SiO2薄膜；4）最后对钙钠玻璃表面的高折射率氧化物薄膜和SiO2薄膜进行固化处理，得到具有耐久性双层减反射薄膜的钙钠玻璃。本发明方法成本低、适合大规模应用，采用该方法在钙钠玻璃表面形成的双层薄膜具有优良的减反射效果和耐久性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 表面 形成 耐久性 双层 反射 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种在钙钠玻璃表面形成耐久性双层减反射薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤： 1）在反应腔中通入金属氧化物的前驱体和水蒸气发生反应得到反应产物，采用原子层沉积法将反应产物同时沉积在钙钠玻璃基底的两个表面得到高折射率氧化物薄膜，沉积过程中钙钠玻璃基底的温度为25~300℃，反应腔中沉积室的气压为100~150Pa；2）以硅源、溶剂及催化剂为原料，配制硅溶胶；3）采用涂覆技术将步骤2）中配制得到的硅溶胶涂覆于步骤1）中得到的钙钠玻璃基底的表面，从而在高折射率氧化物薄膜上再形成SiO2薄膜；4）最后对钙钠玻璃表面的高折射率氧化物薄膜和SiO2薄膜进行固化处理，得到具有耐久性双层减反射薄膜的钙钠玻璃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210416610.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
