[发明专利]带有离轴弹簧系统的惯性传感器

摘要

提供一种带有离轴弹簧系统的惯性传感器。惯性传感器（20）包括配置为经历振荡运动的驱动质体（30）和联接到驱动质体的感测质体（32）。同轴扭力弹簧（58）耦接到感测质体，同轴扭力弹簧与旋转轴（22）处于相同位置。惯性传感器还包括离轴弹簧系统（60）。离轴弹簧系统包括离轴弹簧（68、70、72、74），每个都具有在感测质体上的移离旋转轴的位置处耦接到感测质体的连接接口（76）。同轴扭力弹簧和离轴弹簧系统一起使感测质体以与驱动质体的驱动频率实质上匹配的感测频率绕旋转轴振荡到平面外。

主权项

1.一种惯性传感器，包括：具有表面的衬底；驱动质体，配置为在与所述表面实质上平行的平面内经历振荡运动；感测质体，联接到所述驱动质体，所述感测质体包括第一端和第二端，所述第一端的整体位于旋转轴的第一侧，所述第二端的整体位于所述旋转轴的第二侧，并且所述第一端和所述第二端对称地从所述旋转轴移离；同轴扭力弹簧，耦接到所述感测质体，所述同轴扭力弹簧与旋转轴处于相同位置；以及离轴弹簧系统，具有连接接口，所述连接接口在所述感测质体上的移离所述旋转轴的位置处耦接到所述感测质体，所述离轴弹簧系统包括设置在所述感测质体的所述第一端处的第一离轴弹簧和设置在所述感测质体的所述第二端处的第二离轴弹簧，所述第一离轴弹簧和所述第二离轴弹簧中的每个包括所述连接接口，其中所述同轴扭力弹簧和所述离轴弹簧系统使所述感测质体能够振荡到所述平面之外。