[发明专利]一种常压平衡逐级定容式气体中痕量组分的配制装置

摘要

本发明涉及一种常压平衡逐级定容式气体中痕量组分的配制装置，包括气瓶和气路组件、定容换向阀组件、定容瓶组件、真空泵；作为核心组件的定容瓶组件由以下部件组成：瓶口换向阀兼瓶塞、弹性气囊、电磁搅拌器，定容换向阀组件由阀体、组分气体出入口及背景气体出入口组成。与现有技术相比，本发明通过一系列特殊的模块化的结构设计，能够在避免使用复杂的分压设备的前提下，达到定量配制极低浓度的组分气体的目的；同时，欲配制不同浓度的气体，只需要更换不同型号(定容管体积)的定容换向阀组件，或者增减“定容换向阀组件-定容瓶组件”稀释装置的级数即可实现，整个装置具有简便、安全、成本低等特点。

主权项

一种常压平衡逐级定容式气体中痕量组分的配制装置，其特征在于，该装置包括：定容瓶组件：包括硬质玻璃制成的定容瓶壳体、与瓶塞集成为一体的瓶口换向阀，定容瓶壳体内置弹性气囊及电磁搅拌器；定容换向阀组件：由阀体、组分气体出入口及背景气体出入口组成，阀体内具有一段相当于定量环的封管，定容换向阀组件分别位于两组定容瓶组件的前端，通过质量流量计和压力表与定容瓶组件连接；气瓶及气路组件：包括组分气体钢瓶、背景气体钢瓶、不锈钢管路及管路上设置的阀门，通过不锈钢管路串联连接组分气体钢瓶、背景气体钢瓶、定容瓶组件、定容换向阀组件；真空泵：连接在定容瓶组件的下方，由两级泵体组成，其中机械泵作为前级泵，扩散泵或分子泵作为次级泵。