[发明专利]用于集成电路制造的蜂巢状锥形加热器有效
| 申请号： | 201210418561.4 | 申请日： | 2012-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN103369744A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 林逸宏;李志鸿;李启弘;李资良 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 蜂巢状锥形加热器包括灯罩，其中灯罩具有形成部分圆的外边缘。灯罩具有从灯罩顶面延伸至底面的开口。开口进一步从外边缘延伸至灯罩的中心区域。多个灯被排布为遍及所述灯罩，并被配置为将光发出至灯罩的顶面之外。本发明还公开了用于集成电路制造的蜂巢状锥形加热器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 集成电路 制造 蜂巢 锥形 加热器 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：蜂巢状锥形加热器，包括：具有外边缘的灯罩，其中所述外边缘形成部分圆，所述灯罩包括从所述灯罩的顶面延伸至底面的开口，并且所述开口从所述外边缘延伸至所述灯罩的中心区域；以及遍及所述灯罩分布的多个灯，所述多个灯被配置为将光发出至所述灯罩的所述顶面之外。
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