[发明专利]内腔液晶可调谐垂直腔面发射激光器及其制备方法

摘要

内腔液晶可调谐垂直腔面发射激光器属于半导体光电子器件领域。该激光器结构分为三部分: 从下到上依次为n型背面电极(11)、底部衬底(10)、下DBR(9)、有源区(8)、包括氧化限制层(7)的p型DBR(12)、p型注入电极(6)、ITO层(14)、取向膜(3)，此为第一部分，从氧化限制层(7)往上为脊型结构；脊型两端为对称结构的聚合物衬垫(5)，形成液晶盒，液晶盒存储有液晶(4) ，此为第二部分；第三部分，依次包括，有出光孔的顶部衬底(1)、上DBR(2)、ITO层(14)、取向膜(3)；第三部分倒立放置在第二部分上，依靠聚合物衬垫(5)支撑。本发明通过在液晶盒两端加调谐电压引起液晶层折射率变化，来实现激光波长的连续调谐。同时，由于向列相液晶独特的各向异性，激光器可以实现激光偏振稳定输出。

主权项

内腔液晶可调谐垂直腔面发射激光器的结构，其特征在于，器件分为三部分:从下到上依次为n型背面电极(11)、底部衬底(10)、下DBR(9)、有源区(8)、包括有出光孔的氧化限制层(7)的p型DBR(12)、有出光孔的p型注入电极(6)、ITO层(14)、取向膜(3)，此为第一部分即发光区，从氧化限制层(7)往上为脊型结构；脊型两端为对称结构的聚合物衬垫(5)，形成液晶盒，液晶盒存储有液晶(4),此为第二部分；第三部分即上反射镜，依次包括，有出光孔的顶部衬底(1)、上DBR(2)、ITO层(14)、取向膜(3)；第三部分倒立放置在第二部分上，依靠聚合物衬垫(5)支撑。