[发明专利]一种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜及传感器无效
| 申请号： | 201210419731.0 | 申请日： | 2012-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102937624A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 杨保和;张乾坤;曾宪顺;苏林;徐晟 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 廖晓荣 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明是一种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜及传感器方案。所述气体敏感膜采用杯芳烃/含氢类金刚石结构。本发明的有益效果是：相比于当前普遍使用的纳米分子筛式气体敏感膜及微孔聚合物气体敏感膜，本发明基于杯芳烃/含氢类金刚石结构的气体敏感膜具有高灵敏度、响应速度快、可重复性高、疏水性好、对温度变化不敏感、不会出现玻璃化的倾向等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 fbar saw 传感器 气体 敏感 | ||
【主权项】：
一种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜，其特征在于所述气体敏感膜采用杯芳烃/类金刚石结构，所述杯芳烃制备于类金刚石表面。
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