[发明专利]石墨烯测序器件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201210421626.0 申请日: 2012-10-29
公开(公告)号: CN103789204A 公开(公告)日: 2014-05-14
发明(设计)人: 贾昆鹏;粟雅娟;聂鹏飞 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: C12M1/34 分类号: C12M1/34
代理公司: 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 代理人: 陈红
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种石墨烯测序器件,包括:位于衬底上的绝缘层;位于绝缘层上的石墨烯纳米带,具有晶界;位于石墨烯纳米带中的纳米孔,其中纳米孔与晶界共同构成石墨烯电极;以及位于纳米孔两侧的石墨烯纳米带上的金属电极。依照本发明的石墨烯测序器件及其制造方法,制备工艺条件相对简单,使用创新型的分布在晶界两侧的两个半圆弧形电极有助于降低由于DNA分子结构波动产生的影响,提高测试的稳定性和可靠性。加之利用晶界对电流的抑制作用可以有效降低背景电流的大小提高信噪比。单层石墨烯的厚度仅约为0.35nm低于一个DNA碱基的长度,可以有效提高NDA测序的分辨率。
搜索关键词: 石墨 烯测序 器件 及其 制造 方法
【主权项】:
一种石墨烯测序器件,包括:位于衬底上的绝缘层;位于绝缘层上的石墨烯纳米带,具有晶界;位于石墨烯纳米带中的纳米孔,其中纳米孔与晶界共同构成石墨烯电极;以及位于纳米孔两侧的石墨烯纳米带上的金属电极。
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