[发明专利]静电卡盘加热方法及系统

摘要

本发明涉及一种静电卡盘加热方法及系统。静电卡盘用于承载晶圆，其包括上下设置的绝缘层和基座，绝缘层中设有一加热器，用于通过对静电卡盘的加热来加热晶圆，基座中设有至少一冷却液流道，用于注入流体调节静电卡盘的温度，该方法包括如下步骤：以加热器将静电卡盘自第一温度加热至第二温度；向冷却液流道注入第一气体，第一气体经冷却液流道放热转化为第一流体，以将静电卡盘自第二温度加热至第三温度。本发明在使静电卡盘快速升温的同时，有效保证其各区域温度的均一性，从而使晶圆各区域温度均一，有利于等离子体刻蚀工艺的进行，提高了晶圆的制成良率。

主权项

一种静电卡盘加热方法，所述静电卡盘用于承载晶圆，其包括上下设置的绝缘层和基座，所述绝缘层中设有一加热器，用于通过对所述静电卡盘的加热来加热所述晶圆，所述基座中设有至少一冷却液流道，用于注入流体调节所述静电卡盘的温度，该方法包括如下步骤：a)、以所述加热器将所述静电卡盘自第一温度加热至第二温度；b)、向所述冷却液流道注入第一气体，所述第一气体经所述冷却液流道放热转化为第一流体，以将所述静电卡盘自所述第二温度加热至第三温度。