[发明专利]用于多层图案的印刷的闭环反馈控制的方法和装置无效
| 申请号： | 201210423314.3 | 申请日： | 2012-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103252991A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 乔治欧·塞勒里;恩里科·波斯克罗·马尔奇;亚历山大·沃尔坦;阿尔贝托·威尔拉塔;卢奇·德·萨缇;托马索·沃尔克斯;马科·加里亚左 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | B41F33/16 | 分类号： | B41F33/16;B41F15/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于多层图案的印刷的闭环反馈控制的方法和装置。本发明的实施例提供用于在将多层图案印刷在衬底上时使用的闭环控制的装置和方法。在一个实施例中，提供了一种太阳能电池形成方法。该方法包括：将衬底定位在印刷站的衬底接收表面上；将第一图案化层印刷在衬底的区域上；获取第一图案化层的第一光学图像并将第一光学图像存储在缓冲器中；将第二图案化层印刷在衬底的区域上，其中使用从所获取的第一光学图像接收到的信息来将第二图案化层在衬底的区域上对准。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多层 图案 印刷 闭环 反馈 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池形成方法，其包括如下步骤：将第一衬底定位在第一印刷站的衬底接收表面上；将第一图案化层印刷在所述第一衬底的区域上；获取所述第一图案化层的第一图像并将所述第一图像存储在缓冲器中；将所述第一衬底转移到第二印刷站的衬底接收表面；将第二图案化层印刷在所述第一衬底的所述区域上；获取所述第二图案化层的第二图像；以及使用所述第一图像和所述第二图像执行闭环计算步骤，以确定所述第二图案化层与所述第一图案化层的对准。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料意大利有限公司，未经应用材料意大利有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210423314.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种营养保健面条
- 下一篇：一种水果面包及其制备方法
