[发明专利]于氮化镓上制作氧化锌的方法与其应用无效
| 申请号： | 201210424069.8 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103094071A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 林清富;古竣伟 | 申请（专利权）人： | 林清富 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是有关于一种于氮化镓上制作氧化锌的方法与其应用，特别是有关一种利用水热法于氮化镓上制作氧化锌的方法与应用氧化锌回收基板的方法。该方法包括：提供基板；于该基板上制作氮化镓层；以及利用水热法制作氧化锌薄膜于该氮化镓层上。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 制作 氧化锌 方法 与其 应用 | ||
【主权项】：
一种利用水热法于氮化镓上制作氧化锌的方法，其特征在于包含:步骤1、提供基板;步骤2、于该基板上制作氮化镓层;以及步骤3、利用水热法制作氧化锌薄膜于该氮化镓层上。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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