[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷配线板的制造方法在审
| 申请号： | 201210427467.5 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103091985A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 村松有纪子;宫坂昌宏;冈出翔太 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/00;H05K3/06;H05K3/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供所形成的抗蚀图案的析像度、密合性及抗蚀剂形状优异的感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物含有：粘合剂聚合物，其具有来自（甲基）丙烯酸的结构单元、和来自从由（EO）改性二环戊烯基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性二环戊基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性异冰片基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性金刚烷基（甲基）丙烯酸酯及（EO）改性环己基（甲基）丙烯酸酯组成的组中选择的至少1种（甲基）丙烯酸酯的结构单元；光聚合性化合物；以及光聚合引发剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 图案 形成 方法 印刷 线板 制造 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其含有：（A）粘合剂聚合物，其具有：来自（甲基）丙烯酸的结构单元、和来自从由（EO）改性二环戊烯基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性二环戊基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性异冰片基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性金刚烷基（甲基）丙烯酸酯及（EO）改性环己基（甲基）丙烯酸酯组成的组中选择的至少1种（甲基）丙烯酸酯的结构单元；（B）光聚合性化合物；以及（C）光聚合引发剂。
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