[发明专利]具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 201210427615.3 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102890106A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 金建东;郑丽;齐虹;李玉玲;王平;王明伟;田雷;司良有;王成杨 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器及其制作方法，涉及一种电容式高分子湿度传感器及其制作方法。为了解决目前尺寸不增加的电容式高分子湿度传感器可靠性差的问题。所述传感器包括衬底、下电极、电介质层和上电极；上电极为微米网格状多孔电极，多孔为阵列式排布的通透孔，下电极包括过渡的金属薄层和金薄膜。本发明的制作方法用与高分子湿敏材料相兼容的方法，在高分子湿敏材料形成的电介质层上形成阵列式排布的整体厚度为0.5～1μm的带有网格状多孔的金属薄膜，网格状多孔的孔隙和线条宽度在微米数量级；并在厚度为0.5～1μm的金属薄膜的焊盘位置上焊接引线。本发明用于检测湿度的传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微米 网格 多孔 电极 电容 高分子 湿度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
具有微米网格状多孔电极的电容式高分子湿度传感器，它包括衬底（1）和湿敏电容薄膜，湿敏电容薄膜包括下电极（4）、电介质层（5）和上电极（6）；其特征在于，所述上电极（6）为微米网格状多孔电极，所述多孔为阵列式排布的通透孔，下电极（4）包括过渡的金属薄层和金薄膜。
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