[发明专利]光学测量装置及光学测量方法有效
| 申请号： | 201210427897.7 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103792190A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 高堉墐;刘朝辉;郑伊凯;王世昌;王大祥 | 申请（专利权）人： | 建兴电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 中国台湾台北市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学测量装置，包括至少一发光单元、一载台、至少一透镜以及至少一光检测器。发光单元适于发出一光束。载台配置于光束的传递路径上，且包括多个容置空间，这些容置空间轮流切入光束的传递路径。透镜配置于光束的传递路径上，且位于发光单元与载台之间。透镜在载台上的正投影呈一多边形，其中当这些容置空间之一切入光束的传递路径时，多边形的每一个边的中垂射线与这些容置空间中的另一相邻的容置空间不重叠。光检测器配置于来自载台的光束的传递路径上，以检测光束。一种光学测量方法也被提出。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光学测量装置，适于测量至少一样本，该光学测量装置包括：至少一发光单元，适于发出一光束；一载台，配置于该光束的传递路径上，且包括多个容置空间，这些容置空间分别容置该样本，所述容置空间轮流切入该光束的传递路径；至少一透镜，配置于该光束的传递路径上，且位于该发光单元与该载台之间，该透镜在该载台上的正投影呈一多边形，其中当所述容置空间之一切入该光束的传递路径时，该多边形的每一个边的中垂射线与所述容置空间中的另一相邻的容置空间不重叠，其中该中垂射线为以该多边形的该边的中点为起始点且沿着该边的中垂线往远离该多边形的方向延伸的射线；以及至少一光检测器，配置于来自该载台的该光束的传递路径上，以检测该光束。
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