[发明专利]用于晶圆级感测元件的自我测试系统及其方法

摘要

本发明是有关于一种用于晶圆级感测元件的自我测试系统及其方法。自我测试系统包含晶圆级感测元件及测试模块。晶圆级感测元件包含固定单元及可动单元，其中固定单元与可动单元之间形成感应电容。测试模块用以电性连接晶圆级感测元件，且测试模块包含测试电路，用以量测感应电容。其中，晶圆级感测元件用以接收输入信号，使感应电容产生电容值变化量，而测试电路则根据电容值变化量，输出测试信号。

主权项

一种用于晶圆级感测元件的自我测试系统，其特征在于其包含:晶圆级感测元件，包含固定单元及可动单元，其中该固定单元与该可动单元之间形成感应电容，并且该固定单元包含两个固定臂，而该可动单元包含质量块及移动臂，其中该移动臂设于该质量块上，且该移动臂位于该两个固定臂之间；及测试模块，用以电性连接该晶圆级感测元件，其中该测试模块包含测试电路，用以量测该感应电容；其中该晶圆级感测元件，用以接收由波形产生器所产生的输入信号，使该感应电容产生电容值变化量，其中输入信号包括调变信号和激励信号，该可动单元接收调变信号，一个固定臂接收激励信号，且另一个固定臂输出由电容值变化量引起的感应信号，其中该调变信号与该激励信号的频率不同，而该测试电路根据该电容值变化量，输出测试信号，并且其中当该晶圆级感测元件的可动单元接收调变信号后，该可动单元对应产生静电力，使该感应电容产生电容值变化量；其中该测试电路包含滤波器，用以除去寄生电容相关的感应信号。