[发明专利]一种触针式轮廓仪传感器静态及动态特性的检定装置

摘要

本发明公开了一种触针式轮廓仪传感器静态及动态特性的检定装置，检定装置包括静态位移发生装置、动态位移发生装置及位移测量装置；静态位移发生装置包括底座、右轴承座、左轴承座、滚珠丝杠、斜块、x向直线导轨滑块、第一直线导轨、第二直线导轨、z向工作台和z向支撑架；斜块固定在x向直线导轨滑块上，滑块安装在第一直线导轨上，第一直线导轨与底座固定连接；滚珠丝杠从斜块的中心穿过且两端分别固定在右轴承座和左轴承座上；第二直线导轨固定在斜块的斜面上；z向工作台与z向支撑架连接，z向支撑架与底座连接；z向工作台与第二直线导轨通过滑动摩擦将x向移动转化为z向运动。本发明具有检定精度高、检定范围大、检测速度快、结构简单、成本低的特点。

主权项

一种触针式轮廓仪传感器静态及动态特性的检定装置，其特征在于，包括静态位移发生装置、镶嵌在所述静态位移发生装置上的动态位移发生装置以及用于将静态位移发生装置和动态位移发生装置的位移变化信号转化为光学信号的位移测量装置；所述静态位移发生装置(110)包括：底座(1)、右轴承座(6)、左轴承座(40)、滚珠丝杠(7)、斜块(37)、x向直线导轨滑块(38)、第一直线导轨(39)、第二直线导轨(34)、z向工作台(31)和z向支撑架(33)；斜块(37)固定在x向直线导轨滑块(38)上，x向直线导轨滑块(38)安装在第一直线导轨(39)上，第一直线导轨(39)与底座(1)固定连接；滚珠丝杠(7)从斜块(37)的中心穿过且两端分别固定在右轴承座(6)和左轴承座(40)上；第二直线导轨(34)固定在斜块(37)的斜面上；z向工作台(31)与z向支撑架(33)连接，z向支撑架(33)与底座(1)连接；z向工作台(31)与第二直线导轨(34)之间通过滑动摩擦将第二直线导轨的x向移动转化为z向工作台(31)的z向运动。