[发明专利]轴锥镜面形的测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 201210431104.9 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102901463A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 袁乔;曾爱军;张善华;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种轴锥镜面形的测量装置和测量方法，该装置由移相干涉仪、平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜组成，其位置关系是：沿所述的移相干涉仪出射光束前进方向依次是所述的平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜，在所述的平面标准镜和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口。本发明具有装置结构简单、测量方法操作方便的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 轴锥镜面形 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种轴锥镜面形的测量装置，其特征在于该装置由移相干涉仪、平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜组成，其位置关系是：沿所述的移相干涉仪出射光束前进方向依次是所述的平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜，在所述的平面标准镜和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口。
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