[发明专利]磁阻元件结构形成方法有效
申请号: | 201210431518.1 | 申请日: | 2012-11-01 |
公开(公告)号: | CN103094470A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 刘富台;李乾铭;梁志坚;傅乃中 | 申请(专利权)人: | 宇能电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L43/12 | 分类号: | H01L43/12;H01L27/22 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提出一种磁阻元件结构形成方法,包含:提供基板;于该基板上方形成金属镶嵌结构,再于该金属镶嵌结构上方形成图形化磁阻单元,与该金属镶嵌结构完成电性连接。本发明所述之磁阻元件结构形成方法,不但可将集成电路与磁阻材料整合在一起,达到体积极小化,且可将对准之标记与制程巧妙结合,节省光罩的层数。 | ||
搜索关键词: | 磁阻 元件 结构 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种磁阻元件结构形成方法,其特征在于,包括下列步骤:提供基板;于该基板上方形成金属镶嵌结构,再于该金属镶嵌结构上方形成图形化磁阻单元,与该金属镶嵌结构完成电性连接。
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