[发明专利]正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、液晶显示装置及有机电致发光显示装置

摘要

本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、液晶显示装置以及有机电致发光显示装置，该正型感光性树脂组成物可获得感光度高、对于剥离液或NMP的耐受性高、与透明电极膜或金属的密接性也良好、且耐干蚀刻性优异、在显示装置中也不易产生显示不良的硬化膜。一种正型感光性树脂组成物，包括：(成分A)含有满足(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(成分C)光酸产生剂；及(成分D)溶剂。

主权项

1.一种正型感光性树脂组成物，其特征在于包括：成分A：含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；成分C：光酸产生剂；以及成分D：溶剂；进而包括成分X：由下述式(X3)所表示的化合物；Roo-[(CH2)n-(X)]a(X3)式中，X表示下述式(X1)，a表示2～3的整数，n表示1～5的整数，Roo表示单键、-CR2-、-S-、-CO-、-O-、亚苯基、或包含这些基的2个以上的组合的基，其中R为氢原子或碳数为1～3的烷基，式中，RX1～RX3的至少1个表示选自由烷氧基、巯基、卤素原子、酰胺基、乙酰氧基、氨基、烯丙氧基、及异丙烯氧基所组成的组群中的水解性基，或羟基；剩余的RX1～RX3分别独立地表示氢原子、卤素原子、或一价的有机取代基。