[发明专利]一种高压集成电路的互连结构无效
| 申请号： | 201210432010.3 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN103022004A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 乔明;张昕;许琬;李燕妃;周锌;吴文杰;张波 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/528 | 分类号： | H01L23/528 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李顺德;王睿 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种高压集成电路的互连结构，属于半导体功率器件技术领域。本发明在具有横向高压功率器件的高压集成电路中，采用多条窄线宽的金属连线连接横向高压功率器件的漏极（或阳极）和高压电路，多条窄线宽的金属连线共同分担横向高压功率器件所承载的电流大小，各条窄线宽的金属连线之间具有相应的间距。本发明可以大大减小高压互连线场致电荷的产生，有效屏蔽互连线电位对器件表面电场的影响，增强了器件在具有高压互连线时的耐压，提高了器件的性能。本发明可用于具有单RESURF、双RESURF结构的LDMOS、LIGBT或3D RESURF LDMOS等功率器件的高压集成电路中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压 集成电路 互连 结构 | ||
【主权项】：
一种高压集成电路的互连结构，用于具有横向高压功率器件的高压集成电路中，包括多条窄线宽的金属连线；所述多条窄线宽的金属连线一端与横向高压功率器件的漏极或阳极相连，另一端与高压集成电路的高压电路相连；多条窄线宽的金属连线共同分担横向高压功率器件所承载的电流大小，各条窄线宽的金属连线之间具有相应的间距。
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