[发明专利]一种具有永磁重力支撑结构的微动台无效
| 申请号： | 201210434531.2 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102944980A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 张鸣;朱煜;刘召;许玉洁;李玉洁;田丽;张利;杨开明;徐登峰;秦慧超;王平安;尹文生;胡金;穆海华 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有永磁重力支撑结构的微动台，主要用于光刻机工件台系统中。该微动台包括微动台定子、微动台动子以及至少三个永磁重力支撑单元，所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘；每个永磁重力支撑单元含有固定部分和支撑部分；所述固定部分是空心圆柱永磁体，其空心圆柱永磁体沿轴向充磁下底面为S极，上底面为N极；支承部分由两个同轴，沿半径并指向圆心方向充磁的圆环永磁体组成；固定部分的空心圆柱永磁体与双层圆环永磁体同轴布置，并位于所述的双层圆环永磁体上方。本发明所述支承结构能够降低行程范围内沿轴线方向的刚度，同时提高承载能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 永磁 重力 支撑 结构 微动 | ||
【主权项】：
一种具有永磁重力支撑结构的微动台，微动台包括微动台定子和微动台动子，其特征在于：该微动台还包括至少三个永磁重力支撑单元，所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘；每个永磁重力支撑单元含有固定部分和支撑部分，所述的固定部分由一个空心圆柱永磁体（1）和一个磁钢芯轴（4）组成，空心圆柱永磁体（1）粘接在磁钢芯轴（4）上，所述空心圆柱永磁体（1）的充磁方向沿圆柱轴向方向，下底面为S极，上底面为N极；所述支承部分由一个内圆环永磁体（2）、一个外圆环永磁体（3）和一个磁钢骨架（5）组成，所述的两个圆环永磁体同轴粘接在磁钢骨架（5）上，两个圆环永磁体的充磁方向沿半径并指向圆心方向；所述的固定部分的空心圆柱永磁体（1）与内圆环永磁体（2）和外圆环永磁体（3）同轴布置，并位于所述的两个圆环永磁体上方；每一个永磁重力支撑单元的固定部分的空心圆柱永磁体（1）通过磁钢芯轴（4）连接在微动台定子上，该永磁重力支撑单元的支撑部分的内圆环永磁体（2）和外圆环永磁体（3）通过磁钢骨架（5）连接在微动台动子上。
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