[发明专利]一种二维快速控制反射镜

摘要

本发明公开了二维快速控制反射镜，包括反射镜片，第一、第二支架，第一柔性铰链，第一至第三压电驱动器，一级倾斜平台，底座，以及控制驱动系统；二支架对称固定在底座的一条中轴线上，一级倾斜平台位于二支架之间的下方，三个压电驱动器依次排列在一级倾斜平台和第一支架、第二支架所包围的空间内，驱动器通过第一柔性铰链与一级倾斜平台顶部连接，反射镜片固定在第一柔性铰链上；控制驱动系统实现对反射镜片偏转角度的闭环控制。本发明具有驱动速度快，控制精度高，没有机械磨损，机构紧凑，空间利用率高，无轴间干扰，稳定性好的特点，并且体积小，重量轻，刚度高，可实现单镜面二维扫描。

主权项

一种二维反射镜，其特征在于，它包括反射镜片(1)，第一、第二支架(2、3)，第一柔性铰链(4)，第一至第三压电驱动器(5、6、7)，一级倾斜平台(8)，底座(9)，以及控制驱动系统；第一支架(2)和第二支架(3)对称固定在底座(9)的一条中轴线上，一级倾斜平台(8)位于第一支架(2)和第二支架(3)之间的下方，三个压电驱动器(5、6、7)依次排列在一级倾斜平台(8)和第一支架(2)、第二支架(3)所包围的空间内，其中，第一驱动器(5)的上端与第一支架(2)固定连接，第三驱动器(7)的上端与第二支架(3)固定连接，第一驱动器(5)和第三驱动器(7)的下端均与一级倾斜平台(8)相连；第二驱动器(6)下端固定在一级倾斜平台(8)的底部，上端通过第一柔性铰链(4)与一级倾斜平台(8)顶部连接，反射镜片(1)固定在第一柔性铰链(4)上；所述控制驱动系统与第一至第三压电驱动器(5、6、7)电连接，用于实现对反射镜片(1)偏转角度的闭环控制。