[发明专利]一种分体式气足及平面导向装置有效
| 申请号： | 201210434946.X | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN103790963A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 吴立伟;夏海;杨晓燕;陈庆生;严兰舟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分体式气足，将气浮结构和磁预载结构分离，保证了气浮结构不会受到磁预紧力的作用而变形，而磁预载结构也不会碰触到平台，此设计既能避免气浮结构受损，又避免了传统真空预紧力结构的缺陷。在此基础上形成的平面导向装置能够很好的满足气浮的刚性需求，使得其支撑的运动台的稳定性得到极大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 平面 导向 装置 | ||
【主权项】：
一种分体式气足，用于支撑运动台在平台上方作无摩擦运动，其特征在于，包括：多个气浮结构，所述气浮结构之间通过第一簧片连接，所述气浮结构为阶梯状；磁预载结构，所述磁预载结构与所述气浮结构分体式连接，置于气浮结构的阶梯上，所述磁预载结构包括磁预载板和分布于其中的磁铁阵列。
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