[发明专利]一种可调大偏心量公转箱体式气压施力数控抛光装置

摘要

本发明公开了属于超精密光学表面加工领域的一种可调大偏心量公转箱体式气压施力数控抛光装置。包括电机、减速机、气动旋转接头、固定架、齿轮、皮带、自转驱动杆、自转传递杆、自转轴、公转驱动套筒、公转箱体、自转轴固定块、偏心调节座、气缸、球头、抛光盘；工作时，通过调节自转轴固定块在偏心调节座上的位置，实现大偏心量的连续调节；气体依次通过气动旋转接头、自转驱动杆、自转轴传到气缸，最终对抛光盘施加压力，通过定量的改变气压来调节作用在抛光盘上的压力，实现对光学元件的确定性加工。本发明适用于大口径光学元件的超精密表面加工。

主权项

一种可调大偏心量公转箱体式气压施力数控抛光装置，包括自转电机、公转电机、自转减速机、公转减速机、自转齿轮、公转齿轮、自转驱动杆上齿轮、公转驱动套筒上齿轮、自转驱动杆上轴承、公转驱动套筒上轴承、公转驱动套筒下轴承、自转驱动杆上气动旋转接头、公转驱动套筒、自转驱动杆、固定架、自转驱动杆下轴承、公转箱体、自转驱动杆下齿轮、自转驱动杆下气动旋转接头、自转传递杆上齿轮、自转传递杆下齿轮、自转传递杆上轴承、自转传递杆下轴承、自转传递杆、自转轴气动旋转接头、自转轴上齿轮、自转轴上轴承、自转轴、自转轴套筒、自转轴下轴承、键槽、气缸、球头、抛光盘、偏心调节座、自转轴固定块、外壳、转接板、销子。上述组成部分的连接关系为：公转电机、自转电机分别连接减速比为5:1的公转减速机和自转减速机，公转减速机和自转减速机分别固定在固定架上；自转减速机末端连接自转齿轮，自转齿轮通过皮带与自转驱动杆上齿轮连接，自转驱动杆上齿轮固定在在自转驱动杆上；公转减速机末端连接公转齿轮，公转齿轮通过皮带与公转驱动套筒上齿轮连接，公转驱动套筒上齿轮固定在公转驱动套筒上；自转驱动杆两端分别通过自转驱动杆上、下轴承固定在公转驱动套筒上，公转驱动套筒两端分别通过公转驱动套筒上、下轴承固定在固定架上；自转驱动杆上旋转接头固定在自转驱动杆顶端，外界气泵传出的气体，通过该旋转接头传入中空的自转驱动杆；公转驱动套筒过螺栓与公转箱体连接；自转驱动杆下齿轮通过皮带与自转传递杆上齿轮相连，自转传递杆上、下齿轮都固定在自转传递杆上，自转传递杆两端通过自转传递杆上、下轴承固定在公转箱体上；自转传递杆下齿轮与自转轴上齿轮通过皮带连接；自转驱动杆下气动旋转接头固定在自转驱动杆下端，并通过气管与自转轴上气动旋转接头连接，自转轴上气动旋转接头固定在自转轴的顶端；自转轴套筒通过自转轴固定块固定在偏心调节座上，偏心调节座固定在公转箱体上，跟随公转箱体一起转动，从而带动自转轴做公转运动；自转轴通过自转轴上、下轴承固定在自转轴套筒上，自转轴的下端通过键槽带动气缸、球头转动；气缸内部通过密封圈进行了密封，保证气体不会泄露；球头通过销子与抛光盘相连，球头的转动带动抛光盘产生自转运动。本发明所述的一种可调大偏心量公转箱体式气压施力数控抛光装置的工作过程如下：加工过程中，通过精密数控机床将该抛光装置移动到工件上待加工点的位置，开启气泵，气体通过自转驱动杆上旋转接头进入该装置，依次通过中空的自转驱动杆、自转驱动杆下旋转接头、气管、自转轴上旋转接头、中空的自转轴，最后进入气缸，实现对抛光盘的稳定施压。自转电机利用皮带和齿轮的传递，依次带动自转驱动杆、自转传递杆、自转轴、气缸、球头转动，最终由球头带动抛光盘产生自转运动；公转电机通过皮带带动公转驱动套筒转动，进而带动公转箱体转动，自转轴跟随公转箱体转动，使抛光盘产生公转运动；抛光盘在工件上做公、自转的行星式运动，通过调节偏心量和公自传速度比，获得类高斯型的去除函数。