[发明专利]一种快速恢复二极管及制造方法有效
申请号: | 201210436203.6 | 申请日: | 2012-11-05 |
公开(公告)号: | CN103022154A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 刘钺杨;高文玉;王耀华;张冲;金锐;于坤山 | 申请(专利权)人: | 国网智能电网研究院;国家电网公司 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L29/06;H01L21/329 |
代理公司: | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人: | 徐国文 |
地址: | 102211 北京市昌平区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种快速恢复二极管及其制造方法,本发明提供的二极管包括阳极扩散P型掺杂区,均匀掺杂的本征区,阴极扩散N型区和阳极、阴极金属层。其中,阳极扩散P型掺杂区为通过掩模板进行局域注入形成的高、低浓度相间的P型掺杂区。和现有技术比,本发明提供的二极管,具有反向峰值电流IRRM低、反向恢复时间trr短和反向恢复软度高的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 快速 恢复 二极管 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种快速恢复二极管,所述二极管包括P型掺杂区,本征区,N型区和阳极、阴极金属层,其特征在于所述P型掺杂区为高、低浓度相间的P型掺杂区。
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