[发明专利]基板检查夹具、夹具底座单元和基板检查装置

摘要

本发明提供一种基板检查夹具及其相关技术，其能够减轻随着变更作为检查对象的被检查基板的构成带来的变更基板检查夹具的构成的负担。该基板检查夹具（2）具备夹具主体（6）、电极单元（7）和检查头（8）。电极单元（7）具有大致矩阵状地配置的多个电极头部，并可更换地安装在夹具主体（6）上。检查头（8）具有多个探头和探头保持部件，并可更换地安装在电极单元（7）或夹具主体（6）上，以使该各个探头的后端部与电极单元（7）的任一个电极头部电接触。电极单元（7）的电极头部以比检查头（8）的探头的配设间距小的配设间距大致矩阵状地被配置，以使其能够对应于探头的配置方式不同的多种检查头（8）。

主权项

一种基板检查夹具，安装于基板检查装置，并用于与设置在被检查基板上的布线图案的电气特性相关的检查中，其特征在于，包括：夹具主体；电极单元，其具有矩阵状地配置的多个电极部，并可更换地安装于所述夹具主体；以及检查头，其具有多个探头和保持所述多个探头的探头保持部件，并可更换地安装于所述电极单元或所述夹具主体，以使所述各个探头的后端部与所述电极单元的任一个所述电极部电连接，其中，所述检查头的所述探头被配置成，其前端部与作为检查对象的所述被检查基板的所述布线图案上所设定的检查点相对应，所述电极单元的所述电极部以比所述检查头的所述探头的配设间距小的配设间距矩阵状地配置，以使其能够对应于所述探头的配置方式不同的多种所述检查头。