[发明专利]无扩散泵式复合膜镀膜机有效
| 申请号： | 201210437315.3 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN102994957A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 陈生贩;陈显东;江裕捺;陈生镇;陈发杰 | 申请（专利权）人： | 上海宏昊企业发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 何新平 |
| 地址： | 201409 上海市奉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及加热技术领域，具体涉及一种真空镀膜机。无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，抽真空系统连接镀膜室为镀膜室抽取真空，抽真空系统中设有真空泵系统，真空泵采用罗茨泵系统。罗茨泵相对于传统的扩散泵，具有能耗低、性能稳定、抽真空效果好、即时启动等优点。有助于提高整个无扩散泵式复合膜镀膜机的性能稳定性，并提高镀膜质量，以及大大降低能耗。罗茨泵系统采用高真空多级罗茨泵系统，高真空多级罗茨泵系统由至少两台罗茨泵单体逐级连接构成。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 复合 镀膜 | ||
【主权项】：
无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，所述抽真空系统连接所述镀膜室为所述镀膜室抽取真空，其特征在于：所述抽真空系统中设有真空泵系统，所述真空泵采用罗茨泵系统。
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