[发明专利]基于金属纳米间隙的纳米应力传感器及其制备方法

摘要

本发明提供一种基于金属纳米间隙的纳米应力传感器及其制备方法，其中基于金属纳米间隙的纳米应力传感器，包括：由绝缘材料制成的基片和设置于基片上的一对金属薄膜电极，所述金属薄膜电极上引出导线，连接到外部的测量电表，且所述金属薄膜电极之间构造可以形成导电路径的金属纳米结构，金属纳米结构中包含至少一个纳米间隙。本发明的传感器能快速响应高频的振动信号，能将高频振动信号转变为电学信号，灵敏度高、响应速度快、易于小型化和微型化、稳定性高。本发明的应力传感器可用于科学实验、生产过程控制和管理、生产质量鉴定、工程诊断和评价等领域。

主权项

一种基于金属纳米间隙的纳米应力传感器，其特征在于，包括：由绝缘材料制成的基片（1）和设置于基片上的一对金属薄膜电极（2），所述金属薄膜电极（2）上引出导线（4），连接到外部的测量电表（5），且所述金属薄膜电极之间构造可以形成导电路径的金属纳米结构（3），金属纳米结构（3）中包含至少一个纳米间隙。