[发明专利]带电粒子束系统孔阑有效
| 申请号： | 201210438995.0 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103094031B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | N.W.帕克;M.W.乌特劳特;D.塔格尔;J.格雷厄姆 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09;H01J37/26;H01J37/28;H01J9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 李湘,王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实现一种改进的限束孔阑结构及制作的方法。在位于支撑衬底中的空腔上方的薄的导电膜中制作孔阑开口，其中孔阑的尺寸和形状由导电膜中的开口确定，而不是由衬底确定。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 系统 | ||
【主权项】：
一种用于聚焦离子束系统的限束孔阑结构，所述限束孔阑结构包括：衬底，所述衬底包括半导体；由所述衬底的顶面支撑的导电层，所述导电层包含孔阑材料并具有孔阑开口限定部分，其中所述孔阑开口限定部分包括限定孔阑开口的孔并且所述孔阑材料包含导体；以及空腔，其位于所述孔阑开口限定部分下方的衬底材料中，所述孔阑开口的直径小于所述空腔的直径，使得所述孔阑材料悬置在所述衬底中的所述空腔上。
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