[发明专利]光刻胶管路套管保温装置有效
| 申请号： | 201210439180.4 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103807571A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 王阳 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F16L59/16 | 分类号： | F16L59/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及用以在半导体生产中涂胶单元光刻胶管路的保温装置，具体地说是一种光刻胶管路套管保温装置。在光刻胶管的外面设有双层套管结构，双层套管结构的内层为进水管路，外层为出水管路，形成自身闭合的循环恒温管路，所述光刻胶管的一端与光刻胶喷嘴连接，另一端与外部供应管路连接。本发明保温效果好，又能节省空间，提高生产的质量和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 胶管 套管 保温 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶管路套管保温装置，其特征在于：包括光刻胶管(9)和双层套管结构，其中光刻胶管(9)穿过双层套管结构，所述光刻胶管(9)的一端与光刻胶喷嘴(1)连接，另一端与外部供应管路连接，所述双层套管结构的内层管路为进水管路，外层管路为出水管路，所述进水管路和出水管路在靠近光刻胶喷嘴(1)端相互连通，进水管路和出水管路在靠近外部供应管路端分别设有保温水进口(10)和保温水出口(11)，形成自身闭合的循环恒温水管路。
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