[发明专利]光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置有效
| 申请号： | 201210439549.1 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103809380B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王阳 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C11/10 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体匀胶显影设备，具体地说是一种光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置。包括光刻胶喷嘴拾取系统、光刻胶喷嘴装置及光刻胶喷嘴平台，其中光刻胶喷嘴平台上设有定位孔，所述光刻胶喷嘴装置安装在光刻胶喷嘴平台上、并通过光刻胶喷嘴平台上的定位孔定位，所述光刻胶喷嘴拾取系统的定位结构位于光刻胶喷嘴装置的上方，光刻胶喷嘴平台上用于定位光刻胶喷嘴装置的定位中心、光刻胶喷嘴拾取系统的定位中心和光刻胶喷嘴装置的喷胶中心在同一直线上，光刻胶喷嘴拾取系统通过打开或闭合定位结构对光刻胶喷嘴装置进行拾取和定位。本发明通过使光刻胶喷嘴装置的定位中心和光刻胶喷嘴喷涂中心重合来提高定位精度，减少结构件体积，提高成品率和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 涂胶 喷嘴 定位 拾取 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置，其特征在于：包括光刻胶喷嘴拾取系统(10)、光刻胶喷嘴装置(20)及光刻胶喷嘴平台，其中光刻胶喷嘴平台上设有定位孔，所述光刻胶喷嘴装置(20)安装在光刻胶喷嘴平台上、并通过光刻胶喷嘴平台上的定位孔定位，所述光刻胶喷嘴拾取系统(10)的定位结构位于光刻胶喷嘴装置(20)的上方，光刻胶喷嘴平台上用于定位光刻胶喷嘴装置(20)的定位中心、光刻胶喷嘴拾取系统(10)的定位中心和光刻胶喷嘴装置(20)的喷胶中心在同一直线上，光刻胶喷嘴拾取系统(10)通过打开或闭合定位结构对光刻胶喷嘴装置(20)进行拾取和定位；所述光刻胶喷嘴拾取系统(10)包括气缸托架(1)、气缸(2)及定位爪(3)，其中气缸(2)设置在气缸托架(1)上，所述定位爪(3)与气缸(2)连接、并通过气缸(2)的驱动打开或关闭；所述光刻胶喷嘴装置(20)包括喷嘴(4)和导向固定卡盘(5)，其中导向固定卡盘(5)设置在喷嘴(4)的上方，所述光刻胶喷嘴拾取系统(10)上的定位爪(3)闭合进入导向固定卡盘(5)中，定位爪(3)打开与固定卡盘(5)卡接。
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