[发明专利]基于IP成像板的透射电镜成像扫描系统及其控制方法有效

专利信息
申请号: 201210439813.1 申请日: 2012-11-06
公开(公告)号: CN102937600A 公开(公告)日: 2013-02-20
发明(设计)人: 张焱;贾春燕;陈晶;冉书能;刘国超;李增杰 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: G01N23/22 分类号: G01N23/22
代理公司: 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 代理人: 张肖琪
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种基于IP成像板的透射电镜成像扫描系统及其控制方法。本发明的透射电镜成像扫描系统包括:透射电镜及扫描装置;其中,透射电镜中采用IP成像板,透过样品后的电子束曝光在IP成像板上形成影像;扫描装置对已曝光的IP成像板进行影像扫描,直接生成影像的数码信息。本发明采用IP成像板,曝光时间短,从而提高了透射电镜的灵敏度,操作快捷,图像对比度高;存储在IP成像板内的影像保持7天以上;IP成像板可在正常的可见光环境中操作,使用方便;IP成像板中的信息可选择性的重复读取,已曝光的IP成像板经消光后,可以重复利用近两万次。因此,本发明在可方便地观察图像的细节的同时,消除资源浪费和环境污染,提高测量精度。
搜索关键词: 基于 ip 成像 透射 扫描 系统 及其 控制 方法
【主权项】:
一种透射电镜成像扫描系统,其特征在于,所述透射电镜成像扫描系统包括:透射电镜及扫描装置;其中,所述透射电镜中采用IP成像板,透过样品后的电子束曝光在IP成像板上形成影像;所述扫描装置对已曝光的IP成像板进行影像扫描,直接生成影像的数码信息。
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