[发明专利]预对准机与机械手相对坐标系的标定方法有效
| 申请号： | 201210441423.8 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103808285A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 徐方;吕光;温燕修;张鹏;周道;李学威 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;B25J19/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种预对准机与机械手相对坐标系的标定方法，所述标定方法包括：第一、设定预对准机所处的坐标系为xoy坐标系，机械手所处的坐标系为x′o′y′坐标系；第二、利用一处于所述xoy坐标系内的晶圆相对于所述x′o′y′坐标系径向移动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的姿态；第三、将所述晶圆相对于所述x′o′y′坐标系转动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的位置，即得到所述机械手与所述预对准机的相对位置关系。本发明可实现真空吸附式机械手在真空吸附式预对准机坐标系下的准确定位，从而可有效提高对晶圆的预对准精度及传输精度。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 机械手 相对 坐标系 标定 方法 | ||
【主权项】：
一种预对准机与机械手相对坐标系的标定方法，其特征在于，所述标定方法包括：S1、设定预对准机所处的坐标系为xoy坐标系，机械手所处的坐标系为x′o′y′坐标系；S2、利用一处于所述xoy坐标系内的晶圆相对于所述x′o′y′坐标系径向移动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的姿态；S3、将所述晶圆相对于所述x′o′y′坐标系转动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的位置，即得到所述机械手与所述预对准机的相对位置关系。
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