[发明专利]硅晶铸锭的制造方法在审
| 申请号： | 201210441855.9 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103088403A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 余文怀;杨承叡;杨瑜民;白凯元;蓝文杰;姜侑宗;许松林;徐文庆;蓝崇文 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 215316 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅晶铸锭的制造方法，本发明所述的制造方法利用成核促进层，让多个硅晶粒从硅熔汤中在成核促进层上成核，且沿垂直方向成长，直至硅熔汤全部凝固，以获得硅晶铸锭。 | ||
| 搜索关键词： | 铸锭 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种硅晶铸锭的制造方法，其特征在于，包括如下步骤： (a)安装一成核促进层至一模内的底部，所述模本身定义一垂直方向； (b)安装一硅原料至所述模内，且放置在所述成核促进层上； (c)加热所述模，直至所述硅原料全部熔化成一硅熔汤； (d)控制所述硅熔汤的至少一热场参数，使多个硅晶粒从所述硅熔汤中在所述成核促进层上成核且沿所述垂直方向成长；以及 (e)继续控制所述热场参数，使所述多个硅晶粒继续沿所述垂直方向成长，直到所述硅熔汤全部凝固以获得所述硅晶铸锭。
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