[发明专利]液晶显示装置、EL显示装置以及其制造方法有效
申请号: | 201210442361.2 | 申请日: | 2012-11-07 |
公开(公告)号: | CN103107174B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 山崎舜平;小山润 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及液晶显示装置、EL显示装置以及其制造方法。本发明的课题是不增加在具有晶体管的显示装置的制造工序中使用的光掩模个数而提高晶体管的可靠性。在该晶体管中,省略用来形成岛状半导体层的光刻工序及蚀刻工序,不增加光掩模个数而制造岛状半导体层。具体地说,通过形成栅电极的工序、形成用来减少蚀刻工序等所造成的损伤的保护层的工序、形成源电极及漏电极的工序、形成接触孔的工序、形成像素电极的工序的五个光刻工序制造液晶显示装置。并且本发明的一个方式的液晶显示装置具有在形成接触孔的工序同时形成且用来断开半导体层的沟槽部分。 | ||
搜索关键词: | 液晶显示装置 晶体管 蚀刻 岛状半导体层 光刻工序 光掩模 接触孔 制造 半导体层 显示装置 像素电极 制造工序 保护层 漏电极 源电极 栅电极 省略 断开 损伤 | ||
【主权项】:
1.一种显示装置,包括:第一布线;隔着第一绝缘层在所述第一布线上的半导体层;所述半导体层上并接触于所述半导体层的第二绝缘层;所述第二绝缘层上的第二布线,该第二布线通过形成于所述第二绝缘层中的开口部电连接到所述半导体层;电连接到所述半导体层的像素电极;以及电容元件,其中,所述第二绝缘层和所述半导体层重叠于所述第一布线、所述第二布线以及所述像素电极,至少形成于所述第二绝缘层和所述半导体层中的第一开口部重叠于所述第一布线,至少形成于所述第二绝缘层和所述半导体层中的第二开口部重叠于电连接到所述电容元件的电极的布线,像素包括所述半导体层,且所述像素的所述半导体层与相邻像素的半导体层通过所述第一开口部和所述第二开口部之间的区域连续。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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