[发明专利]传感器元件、力检测装置以及机械臂有效
| 申请号： | 201210444127.3 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103091004B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 河合宏纪 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;B25J19/02;B25J13/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机械臂，其中，传感器元件是具备由三方晶系的单晶形成的压电基板和配置于上述压电基板的电极的传感器元件，上述压电基板的基板面包含晶轴的电轴，并且上述基板面与包含上述电轴和上述晶轴的光轴的面所成的角度θ是：0°＜θ＜20°。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 检测 装置 以及 机械 | ||
【主权项】：
一种传感器元件，其特征在于，是具备由三方晶系的单晶形成的压电基板、配置于所述压电基板的一方的基板面的第1电极、和配置于另一方的基板面的第2电极的传感器元件，所述压电基板的所述基板面包含晶轴的电轴，所述基板面与包含所述电轴和所述晶轴的光轴的面所成的角度θ是：0°＜θ＜20°。
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