[发明专利]温差式流量传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201210447068.5 | 申请日： | 2012-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN103453958A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 余柏林;余发红 | 申请（专利权）人： | 深圳信息职业技术学院 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及流量检测的技术领域，尤其涉及一种温差式流量传感器及其制作方法。该温差式流量传感器，包括一基体、基体上构造的隔热横膈膜以及横膈膜上的加热电阻和测温电阻，所述基体的下方键合有一衬底，所述衬底与所述基体之间形成一个可引导流体流经所述横膈膜下方的微流道；与现有技术相比，本发明提供的温差式流量传感器，通过其基体与衬底之间形成的微流道，通过微沟道的导向作用，使横膈膜上下表面均有流体流过，增加了横膈膜表面的强迫对流换热面积，使得横隔膜的上下两面受到的流体冲击基本一致，这样，一方面提高了温差式流量传感器的检测精度，另一方面使横隔膜的上下两面受力均匀，不易损坏，提高了可靠性，延长了使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 温差 流量传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
温差式流量传感器，包括一基体和覆盖于基体上可检测流体流量的横膈膜，其特征在于，所述基体的下方键合有一衬底，所述衬底与所述基体之间形成一个可引导流体流经所述横膈膜下方的微流道。
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