[发明专利]曝光装置及固化膜的形成方法有效
| 申请号： | 201210448646.7 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103034070A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 香川英章;佐野贵之;冲和宏 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种曝光装置以及固化膜的形成方法，曝光机(44)具备金属制的支撑辊(41)、光源(52)、光掩膜板(56)及掩膜支撑部(57)。支撑辊(41)从背面通过周面(41A)一边支撑一边输送表面形成有固化性膜(27)的支撑薄膜(13)。光源(52)向被支撑辊(41)支撑的支撑薄膜(13)上的固化性膜(27)放出固化光。光掩膜板(56)遮挡固化光。光掩膜板(56)以与支撑辊(41)靠近的方式配置于光源(52)及支撑辊(41)之间，具有向X方向延伸且沿Y方向排列的狭缝(56S)。掩膜支撑部(57)配置于光掩膜板(56)和支撑辊(41)之间，从支撑辊(41)侧支撑光掩膜板(56)。掩膜支撑部(57)与光掩膜板(56)相比，固化光更容易散射。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 固化 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，其特征在于，其具备：金属制的支撑辊，其具有对表面形成有光固化性膜的挠性料片的背面进行支撑的周面，输送所支撑的挠性料片；光源，其向所支撑的所述挠性料片上的所述光固化性膜放出固化光；光掩膜板，其以与所述支撑辊靠近的方式配置于所述光源和所述支撑辊之间，具有向所述挠性料片的输送方向延伸且在所述挠性料片的宽度方向排列的多个狭缝，遮挡所述固化光；以及掩膜支撑板，其配置于所述光掩膜板和所述支撑辊之间，支撑所述光掩膜板，其中，所述掩膜支撑板的所述支撑辊侧的面或/及所述支撑辊的周面与所述光掩膜板的所述支撑辊侧的面相比，所述固化光更容易散射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片株式会社，未经富士胶片株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210448646.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
