[发明专利]一种电镀设备用挡液装置无效
申请号: | 201210449944.8 | 申请日: | 2012-11-12 |
公开(公告)号: | CN102912410A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 夏品军 | 申请(专利权)人: | 江苏矽研半导体科技有限公司 |
主分类号: | C25D21/12 | 分类号: | C25D21/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215123 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种电镀设备用挡液装置,包括:电镀液母槽(2);电镀液子槽(4),安装于所述电镀液母槽(2)的上方;其特征在于:还包括:电镀液过渡槽(6),安装于所述电镀液母槽(2)的上方、用于收容从所述电镀液子槽(4)中溢流出来的电镀液;回流管(7),一端与所述电镀液过渡槽(6)相通,另一端竖直向下延伸至所述电镀液母槽(2)内的底部;挡液板(8),安装在所述电镀液过渡槽(6)中,并能够根据所述电镀液过渡槽(6)中的液面高度打开或关闭,在打开时,电镀液能够通过所述回流管(7)回流至所述电镀液母槽(2)中。本发明能够使电镀液液面波动小,使电流密度保持稳定,且镀件质量较好。 | ||
搜索关键词: | 一种 电镀 备用 装置 | ||
【主权项】:
一种电镀设备用挡液装置,包括:电镀液母槽(2);电镀液子槽(4),安装于所述电镀液母槽(2)的上方;其特征在于:还包括:电镀液过渡槽(6),安装于所述电镀液母槽(2)的上方、用于收容从所述电镀液子槽(4)中溢流出来的电镀液;回流管(7),一端与所述电镀液过渡槽(6)相通,另一端竖直向下延伸至所述电镀液母槽(2)内的底部;挡液板(8),安装在所述电镀液过渡槽(6)中,并能够根据所述电镀液过渡槽(6)中的液面高度打开或关闭,在打开时,电镀液能够通过所述回流管(7)回流至所述电镀液母槽(2)中。
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