[发明专利]半导体测试设备无效
申请号: | 201210450247.4 | 申请日: | 2012-11-12 |
公开(公告)号: | CN103121012A | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 李相骏;李永吉 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | B07C5/00 | 分类号: | B07C5/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 陈源;张天舒 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了一种半导体测试设备,这种半导体测试设备能够解决安装故障问题,由此提高半导体器件的质量并且增加处理量。该半导体测试设备包括上面安装有定制托盘的板、连接到所述板以转移所述板的搬运器、以及在所述板被转移时振动所述板的振动器。 | ||
搜索关键词: | 半导体 测试 设备 | ||
【主权项】:
一种半导体测试设备,包括:上面安装有定制托盘的板;连接到所述板以转移所述板的搬运器;以及在所述板被转移时振动所述板的振动器。
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