[发明专利]一种实时确定牺牲层腐蚀时间的方法有效
| 申请号： | 201210450745.9 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102963861A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 赵丹淇;张大成;何军;黄贤;杨芳;田大宇;刘鹏;王玮;李婷;罗葵 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种实时确定牺牲层腐蚀时间的方法，其步骤包括：采用表面牺牲层工艺在基片上制作牺牲层和MEMS器件的结构层；在所述结构层上淀积金属层；湿法腐蚀所述牺牲层，通过观测所述金属层中金属的脱落情况确定腐蚀完成时间。本发明可以通过肉眼观测的方式，非接触非破坏地确定牺牲层腐蚀时间，能够提高MEMS工艺质量和成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 确定 牺牲 腐蚀 时间 方法 | ||
【主权项】：
一种实时确定牺牲层腐蚀时间的方法，其步骤包括：1）采用表面牺牲层工艺在基片上制作牺牲层和MEMS器件的结构层；2）在所述结构层上淀积金属层；3）湿法腐蚀所述牺牲层，通过观测所述金属层中金属的脱落确定腐蚀完成时间。
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