[发明专利]气体发生装置、焊锡接合装置和焊锡接合方法

摘要

本发明提供一种焊锡接合装置，其具备能够供给高浓度的含羧酸气体的气体发生装置。气体发生装置（20）包括：容器（21）；在容器（21）中形成的送液管（23）和送气管（24）；为了将含有羧酸（22）和载体气体的含羧酸气体（25）向容器（21）外供给而形成的气体导出部（26）；为了控制羧酸（22）的温度而设置在容器（21）的外侧的温度控制单元（27）；和检测羧酸（22）的液面（22a）的液面检测单元（28）。

主权项

一种焊锡接合装置，其特征在于，其至少包括：回流焊炉，其具备用于叠层体的还原处理和焊锡接合的加热单元；和气体发生装置，其用于对所述回流焊炉内供给含羧酸气体，所述气体发生装置包括：两端面被堵塞的筒形的容器；送液管，其为了对所述容器内供给羧酸而固定于所述容器；送气管，其为了对所述容器内供给载体气体并将该载体气体吹入到所述羧酸而固定于所述容器；气体导出部，其具备为了将含有所述羧酸和所述载体气体的在所述容器内产生的所述含羧酸气体向所述容器外供给而在所述容器内开口的开口部；温度控制单元，其为了控制对所述容器内供给的所述羧酸的温度而设置于所述容器；和液面检测单元，其为了检测对所述容器内供给的所述羧酸的液面并控制该液面与所述开口部之间的距离，设置于所述容器。