[发明专利]一种工作用真空计校准装置及方法有效
| 申请号： | 201210451002.3 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102944357A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 孙雯君;冯焱;成永军;赵澜;盛学民 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工作用真空计校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括：供气系统、微调阀、标准真空计、标准容器、小孔、波纹管截止阀、校准室、工作用真空计、机械泵、隔断阀、分子泵、全金属插板阀。所述装置延伸了工作用真空计的校准下限，降低了测量不确定度，提高了校准精度，解决了真空度在1×10-4Pa～1×10-1Pa范围内工作用真空计的校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工作 真空计 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种工作用真空计（8）校准装置，其特征在于：所述装置包括：供气系统（1）、微调阀（2）、标准真空计（3）、标准容器（4）、小孔（5）、波纹管截止阀（6）、校准室（7）、工作用真空计（8）、机械泵（9）、隔断阀（10）、分子泵（11）、全金属插板阀（12）；供气系统（1）、微调阀（2）、标准容器（4）、小孔（5）、波纹管截止阀（6）、校准室（7）、工作用真空计（8）依次相连，标准真空计（3）与标准容器（4）相连，机械泵（9）与标准容器（4）相连，分子泵（11）通过全金属插板阀（12）与校准室（7）相连，隔断阀（10）一端与机械泵（9）相连，另一端与分子泵（11）相连。
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