[发明专利]自动晶元转换机有效
| 申请号： | 201210451420.2 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN102915941A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 卢冬青 | 申请（专利权）人： | 上海功源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶元转换机，包括：X/Y平台（X向气缸，Y向气缸，锁定气缸及推手气缸）：X向气缸能带动晶元盒X向移动；Y向气缸能带动晶元盒Y向移动；锁定气缸在晶元盒安放后将晶元盒锁紧固定和推手气缸安装在Y向动作板上。还包括：翻转组件（翻转机构、晶舟锁定机构及导片手机构）；翻转机构是一电机使翻转面进行翻转；晶舟锁定机构在晶舟安放后将晶舟固定；导片手机构是导向晶元片相对应的晶舟位置内，安装在翻转面下方。以上所述的X向气缸、Y向气缸、锁定气缸、翻转机构、晶舟锁定机构和导片手机构等分别与一PLC相连。本发明的有益效果是：使用便捷的PLC控制技术，完全避免人工接触晶元片，以满足安全保护要求。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 转换 | ||
【主权项】：
一种晶元转换机，包括：X/Y平台；其特征在于包括：X轴向气缸，Y轴向气缸，锁定气缸及推手气缸；所述的X轴向气缸能带动料盒X向移动；所述的Y轴向气缸能带动料盒Y向移动安装在X轴向动作板上；所述的锁定气缸能在A、B两料盒安放在特定位置后可以将两料盒锁紧以固定两料盒，安装在Y轴向动作板上；所述的推手气缸能在X轴向上动作，安装在Y轴向动作板上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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