[发明专利]激光焦斑光强分布测试装置及测试方法无效
申请号: | 201210451674.4 | 申请日: | 2012-11-12 |
公开(公告)号: | CN102944302A | 公开(公告)日: | 2013-02-27 |
发明(设计)人: | 陈永权;段亚轩;赵建科;李坤;胡丹丹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J1/00 | 分类号: | G01J1/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 姚敏杰 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种激光焦斑光强分布测试装置及测试方法,该激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜、衰减契板、调整架以及设置在调整架上的CCD;待测激光焦斑以及所述中继镜、衰减契板以及CCD处于依次处于同一光轴上。本发明提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的激光焦斑光强分布测试装置及测试方法。 | ||
搜索关键词: | 激光 焦斑光强 分布 测试 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种激光焦斑光强分布测试装置,其特征在于:所述激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜、衰减契板、调整架以及设置在调整架上的CCD;待测激光焦斑以及所述中继镜、衰减契板以及CCD处于依次处于同一光轴上。
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