[发明专利]一种全金属气体微流量计无效
| 申请号： | 201210451846.8 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102937467A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 张瑞芳;李得天;赵澜;冯焱;习振华;魏万印 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | G01F1/38 | 分类号： | G01F1/38 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全金属气体微流量计，属于测量领域。所述微流量计包括：第一真空阀门、绝压式压力计、第二真空阀门、第一定容室、隔断阀门、平动机构、波纹管、第三真空阀门、第二定容室、固定流导小孔、供气系统、抽气系统、第四真空阀门、差压式压力计、变容室、第五真空阀门、第六真空阀门；外围设备包括校准室和加热装置。所述微流量计中大部分组件采用不锈钢材料，有利于流量计的除气，减小了气体流量计器壁的放气，有效地延伸了气体流量计产生的流量下限；且使得所述微流量计结构简单、体积小、重量轻，同时降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全金属 气体 流量计 | ||
【主权项】：
一种全金属气体微流量计，其特征在于：所述微流量计包括：第一真空阀门（1）、绝压式压力计（2）、第二真空阀门（3）、第一定容室（4）、隔断阀门（5）、平动机构（6）、波纹管（7）、第三真空阀门（8）、第二定容室（9）、固定流导小孔（10）、供气系统（11）、抽气系统（12）、第四真空阀门（13）、差压式压力计（14）、变容室（15）、第五真空阀门（16）、第六真空阀门（17）；外围设备包括校准室和加热装置；供气系统（11）、第一真空阀门（1）、第二真空阀门（3）、第一定容室（4）、隔断阀门（5）、变容室（15）、第五真空阀门（16）、第二定容室（9）、固定流导小孔（10）、第六真空阀门（17）、校准室依次相连，差压式压力计（14）一端与定容室相连，另一端与变容室（15）相连，变容室（15）通过第三真空阀门（8）与波纹管（7）、平动机构（6）依次相连，绝压式压力计（2）、第四真空阀门（13）、抽气系统（12）依次相连，绝压式压力计（2）和第四真空阀门（13）之间的管路与第一真空阀门（1）和第二真空阀门（3）之间的管路交叉连通；所有管道、真空阀门、隔断阀门（5）、定容室、变容室（15）及平动机构（6）均采用不锈钢材料。
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