[发明专利]配置有电镀液回收使用装置的电镀设备无效
| 申请号： | 201210451858.0 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102899707A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 任存生;张旭昇;张传民;文静;苏亚青;金见安 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | C25D19/00 | 分类号： | C25D19/00;C25D21/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，包括：电镀液池、电镀液收集池、进液选择开关、电镀液分析单元、控制单元以及过滤装置；其中，进液选择开关通过输液管路连接至电镀液池；电镀液池通过排废管路连接至电镀液分析单元；其中，过滤装置布置在电镀液分析单元和电镀液池之间；电镀液分析单元通过废液收集管路连接至电镀液收集池；控制单元分别连接至进液选择开关、电镀液分析单元、以及电镀液收集池。从电镀液池排除的电镀液经由排废管路排除并被过滤装置过滤，此后，电镀液分析单元对过滤装置过滤后的电镀液进行分析，当判断过滤后的电镀液可用，则将过滤后的电镀液通过废液收集管路注入电镀液收集池。 | ||
| 搜索关键词： | 配置 电镀 回收 使用 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于包括：电镀液池、电镀液收集池、进液选择开关、电镀液分析单元、控制单元以及过滤装置；其中，进液选择开关通过输液管路连接至电镀液池；电镀液池通过排废管路连接至电镀液分析单元；其中，过滤装置布置在电镀液分析单元和电镀液池之间；电镀液分析单元通过废液收集管路连接至电镀液收集池；控制单元分别连接至进液选择开关、电镀液分析单元、以及电镀液收集池。
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