[发明专利]掩模拉伸装置、掩模片以及包括这些的掩模制造系统有效
| 申请号： | 201210454557.3 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103451597B | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 姜泽教 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 韩明星 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开掩模拉伸装置。根据本发明一实施例的掩模拉伸装置，包括夹具，支撑布置于掩模框架上的掩模片，以将所述掩模片结合到所述掩模框架上；拉伸机构，连接于所述夹具，朝所述夹具施加拉伸力，以将通过所述夹具固定的所述掩模片固定于所述掩模框架，其中，所述夹具沿与所述掩模片的延伸方向垂直或倾斜的方向排列而支撑所述掩模片。 | ||
| 搜索关键词： | 拉伸 装置 掩模片 以及 包括 这些 制造 系统 | ||
【主权项】：
一种掩模拉伸装置，其特征在于，包括：夹具，支撑布置于掩模框架上的掩模片，以将所述掩模片结合到所述掩模框架而形成掩模；拉伸机构，连接于所述夹具，朝所述夹具施加拉伸力，以将通过所述夹具固定的所述掩模片固定于所述掩模框架，其中，所述夹具沿与所述掩模片的延伸方向垂直或倾斜的方向排列而支撑所述掩模片。
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