[发明专利]在线测定和控制ITO蚀刻液中各酸浓度的方法

摘要

本发明提供一种在线测定和控制ITO蚀刻液中各酸浓度的方法，通过对ITO蚀刻液供应槽在线取样，样品进入自动滴定仪并溶入有机溶剂，以标定过的碱性有机标准滴定溶液为滴定液，采用动态pH滴定模式进行滴定，滴定结果及相关数据输入电脑主机，根据pH电极信号的变化曲线找到各酸在滴定终点所对应的滴定溶液的消耗体积，进而计算出样品中各种酸的浓度，然后电脑主机向控制阀发出控制信号，从预先设置的酸液调节槽内输送适量的高浓度酸进入供应槽，使蚀刻液浓度达标。本发明检测速度快，准确度和精密度俱佳，能实时反馈各酸浓度，完全可以满足在线检测和控制的要求，为准确控制蚀刻机台的蚀刻速度和蚀刻参数、最终获得高精度的蚀刻图案提供了技术保障。

主权项

一种在线测定和控制ITO蚀刻液中各酸浓度的方法，其特征在于：根据ITO蚀刻液当中酸的种类和工作浓度，分别设置内盛高浓度单酸的酸液调节槽，所述酸液调节槽通过调节阀与向蚀刻机台提供蚀刻液的供应槽相连；对ITO蚀刻液供应槽进行在线取样，样品进入自动滴定仪并溶入有机溶剂，然后以预先标定过的碱性有机标准滴定溶液为滴定液，采用动态 pH滴定模式进行滴定；滴定结果及相关数据输入电脑主机，电脑主机根据pH电极信号的变化曲线，找到各酸在滴定终点所对应的碱性有机标准滴定溶液的消耗体积，进而计算出样品中各种酸的浓度；电脑主机向各个酸液调节槽下方的控制阀发出控制信号，以输送适量的高浓度酸至ITO蚀刻液供应槽中，使供应槽中ITO蚀刻液的浓度达标。